电子用精密红外加热器

在制造车间，光刻胶烘烤不是可选项——而是热预算。将软烘烤或硬烘烤温度提高仅 2°C，就会观察到关键尺寸控制和侧壁轮廓的漂移。晶圆级均匀性是判断批次是否能够发货的关键所在，差之毫厘则失之千里。 重要内容概述 我们围绕近红外（NIR）发射和石英卤素设计构建了精密红外加热器，因此其响应迅速并保持稳定。关...